Sputter System oder Elektronenstrahlquelle

Es gibt mehrere unterschiedliche Verfahren, um Dünnfilm zu beschichten. Zwei davon sind Sputtering und E-Beam und sie eignen sich beide für die Kleinserienfertigung von High-End Produkten und für die Forschung und Entwicklungsarbeit.

Beide Verfahren haben Ihre Vorteile und Nachteile und obwohl sowohl Sputtering als E-Beam sich für die Kleinserienfertigung und für Forschung und Entwicklungsarbeit eignen, dann ist das eine Verfahren für einiges besser als die andere. Beide Verfahren werden auf einige Webseites beschrieben und illustriert, erfahren Sie z.B. hier mehr zum: Sputter System und das System mit Elektronenstrahlquelle.